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原子吸收分光光度计可以叫做原子吸收光谱仪，主要是针对气态自由原子，将原子中发射出来的特征光谱辐射进行吸收的现象叫做原子吸收。想要将这一现象转变成为化学定量分析，就必须将样品中的元素原子化，并在一个光源下给出同样的原子光谱辐射，让这个辐射通过元素原子化区从而产生消光值。根据消光值和标准浓度之间的关系曲线，最终可以得到样本中测试元素的含量。
原子吸收分光光度计一般组成的部件来自于四个，分别为光源、样品原子化器、单色仪和数据处理系统。其中样品原子化器主要分为火焰原子化器和电热原子化器，它们之间有着不同的优缺点，因此所适用的方向也是完全不同的。
火焰原子化器主要有着操作简单、重现性好的显著特点，它对于大多数的元素都有着较高的灵敏度，因此适用的范围广泛。但是它的灵敏度不行，一般不能用来直接分析固体样本；而电热原子化器主要有着原子化效率高、利用率高、灵敏度高的特点，对于难熔的元素测定有显著帮助。但是，它的组成会有不均匀性影响并受到的干扰性较大，需要对其进行反复校正。
ICP-MS主要又称为电感耦合等离子质谱仪，是将电感耦合等离子作为离子源来进行质谱检测的无机多元素分析技术。拥有这项技术的质谱仪拥有灵敏度、背景信号低、分析速度、线性范围宽等较为显著的特点，与此同时，还能提供同位素的信息。ICP-MS常常会和原子吸收分光光度计一同在实验中适用来测试样品的定性定量，而适用的范围大多数都是针对金属元素进行探测的。主要针对环保行业中的金属污染检测、食品行业中的金属